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详细内容
真空泵损坏因素分析
 

1、检查是否有固体颗粒进入泵腔,固体颗粒造成涂层破坏。

2、检查是否有化学物质在泵腔和转子上形成胶质,胶质碳化变硬,破坏转子及泵腔涂层。

3、检查泵入口设备、管道,有发现自由活动固体颗粒如金属碎片、焊渣等。
   

 

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